第七届国际先进光刻技术研讨会邀请函

时间：2023年10月25-26日（10月24日报到）
地址：中国·浙江丽水

尊敬的先生/女士，

我们诚挚地邀请您参加第七届国际先进光刻技术研讨会（IWAPS 2023）。本次研讨会由中国集成电路创新联盟主办，中国科学院微电子研究所、浙江富浙资本管理有限公司、丽水经济技术开发区管理委员会承办，并得到南京诚芯集成电路技术研究院、广东省大湾区集成电路与系统应用研究院和中国科学院微电子研究所的协办支持。

本次研讨会旨在探讨光刻技术领域的最新进展，并提供一个交流和分享的平台。会议将涵盖以下主题：

Ⅰ. 光刻技术
Ⅱ. 极紫外光刻技术
Ⅲ. 先进光刻技术
Ⅳ. 检测和测试
Ⅴ. 设计与制造的协同优化
Ⅵ. 材料
Ⅶ. 工艺

我们诚挚地邀请您提交相关摘要，并于2023年7月31日前完成投稿。摘要审核结果将于2023年8月15日公布。全文提交截止日期为2023年9月30日。

本次会议的论文将被收录于IEEE Xplore和EI数据库。

更多会议信息，请访问我们的官方网站和官方微信公众号“光刻人的世界”，以及官方新浪微博“微电子视野”。

如果您有意参加本次会议，请填写报名表并确保信息准确无误。我们将通过邮件与您联系，确认基本信息以及后续的缴费和酒店安排，请及时关注您的邮箱。

注册费用如下：
早鸟价（9/30前）：
- 在校学生：1200元/人
- 中国集成电路创新联盟成员单位：1800元/人
- 中国光学学会光刻技术专业委员会：1800元/人
- 其他参会人员：2400元/人

我们期待着您的参与，并与您共同探讨光刻技术领域的前沿问题。

祝好！

第七届国际先进光刻技术研讨会组委会
IWAPS 2023