MCRI FH ALD SYSTEM是一款由易企秀公司(eqxiu.com)提供在线设计的H5品类作品。该作品由西安近代化学研究所海外引进人才冯昊博士团队研制，是一款定位为多功能科研型的ALD系统。冯昊博士团队长期从事ALD技术基础及应用研究，在ALD技术领域拥有丰富的实践经验。MCRI FH ALD SYSTEM设备采用模块化设计，由ALD反应器、前驱体供给系统、真空系统、尾气处理系统、控制系统等模块组成，性能先进，功能可扩展性强，兼容QCM、MS，支持升级改造，技术成熟，使用和维护简便。该设备可制备多种氧化物、氮化物、贵金属单质、有机聚合物等，适用于复杂基底表面ALD薄膜沉积。作品通过易企秀平台快速制作，提供丰富的模板资源，便于用户高效完成作品设计。