全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会第四届年会暨第十三届微光刻技术交流会将于2023年8月28日至31日在中国·青岛鑫江温德姆酒店举行。特此诚挚邀请各位委员和相关单位前来参加会议并进行交流。

会议议程如下：

1. 8月28日：
全天：报到及签到 - 一楼大厅
11:30-13:00：自助午餐
14:00-17:00：青少年科普课堂，华润厅。包括微电子微光刻科学技术知识的宣传、学习方法的重要性以及魔方与现代科学和魔方与标准化的研究。
17:30-18:00：技术交流，华润厅。海德堡仪器公司技术专家董越先生将介绍创新的双光子聚合（TPP）技术在3D微光刻和微型打印方面的应用。
18:30-21:00：欢迎晚宴，华润厅。

2. 8月29日上午：
8:30-10:00：全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会（TC203/SC4）年会暨第十三届微光刻技术交流会开幕式。包括主办单位领导致欢迎辞、青岛市领导致辞、承办单位领导致欢迎辞、微光刻分委会秘书长介绍三十年历程及十年磨一剑、集体合影。
10:10-10:20：茶歇
10:20-12:00：微光刻技术交流报告。包括湖南大学机械与运载工程学院副教授陈艺勤老师的《力学辅助光刻及其应用》。

3. 8月29日上午：
继续微光刻技术交流报告。包括苏州大学陈林森教授的《微纳光制造：赋能创新的新引擎》、中国科学院上海高等研究院X射线光学技术实验室副主任吴衍青研究员的《上海光源EUV光刻胶检测技术新进展》、北京大学物理学院副研究员朱振东老师的《氮化硅微腔光频梳器件关键技术》、神光光学集团有限公司首席科学家曹海平先生的《神光光学用于微光刻的玻璃材料和元件》、中国科学院光电技术研究所研究员王建老师的《面向特种芯片的光刻技术与装备》。
12:00-13:00：自助午餐，华润厅。

4. 8月29日下午：
13:30-15:30：半导体设备和材料及先进光刻技术交流会。包括青岛天仁微纳科技有限责任公司事业发展经理Massimo Tormen的《制造先进光子器件需要可靠的纳米压印光刻解决方案》、海德堡仪器公司Nano AG/杨菲博士的《纳米扫描热探针直写技术（NanoFrazor）》、锐时科技（北京）有限公司副总经理朱国先